Nano System Solutions, Inc. (NSS)

为什么选择冲绳?

日本冲绳，因为旅客进出多，航线航班也多，交通方便；地震机率比本州低，伴随着阳光与海滩的平均温度是和暖的 23°c，即是微纳工作室的设定恒温；悠然的慢生活适合创新思维，NANO SYSTEM SOLUTIONS（NSS）就这样决定落户冲绳做尖端科技的激光直写设备！



为什么选择 NSS?

产品:
*DL-1000 无掩模激光直写设备



特点
*灰阶曝光 3D 蚀刻



*扫描或 Step & Repeat 选项
*高速激光直写 2000mm2/min，
*独有即时自动对焦功能 ，精准直写透明薄基材、刻蚀图形基材、凹凸基材。
*多项先进设计确保套准精度
*长寿光源

DL-1000采用【数字化微型镜装置】DMD




应用:
*半导体、光学器件、微型 ID 记号。
*MEMS、生物科技、生命科学。
* NIL模具、掩模。
*与电子束光刻混搭使用。
* 特定范围、小面积曝光用途。

器件例子:
閃耀光柵 blazed grating、菲涅耳透鏡 Fresnel Lens、微透镜矩阵 MLA



规格:
1. 基材: 100x100mm/4” 晶圆; 200x100mm/8” 晶圆; 300x100mm/12” 晶圆;
2. 最大曝光面积: 100x100mm/200x200mm/300x300mm
3. 分辨率: 0.5µm
4. 波长: 405nm
5. 套准: <0.3µm