EZI NANOIMPRINT SYSTEM AR- NTP-400/600
EZIMPRINTING 是一台超凡的纳米压印仪器,既能以超高良率(99%)运作又可处理10nm以下图形,更以专利的一步自动脱模制式(ONE-STEP AUTO RELEASE)稳占业界翘楚位置。
特点:
• 全晶圆压印,4“(NTP-400)或6”(NTP-600)
• 精细度达10nm以下,99%良率- 世界独一无二
• 专利一步自动脱模(ONE STEP AUTO-RELEASE)避免基板和模板损伤
• 可配合软硬模板
• 适合不同大小基板和模板
• PLC可编程式软件和触控界面