工作模具材料的增粘剂:
在过去几年已投放大量资源来研发纳米压印蚀刻的工作模具材料. 有不同种类工作模具材料, 如Ormocers 及 Perflourinated Polyether (PFPE) (聚四氟乙烯). 它们需要增粘剂来与Silicone(硅胶), Quartz(石英) 或Glass(玻璃) 背板粘合。
旋涂:
在玻璃或石英的背板上先滴上HMNP-12(增粘剂), 然后旋涂背板。轻烤背板后, 就可复制工作模具。在玻璃或石英的材料上, HMNP-12的低粘稠度及低水敏感度形成几nm厚度的粘合层, 它与其他的增粘剂对水敏感度及空气湿度影响相对较低。
功能:
- 快及容易应用
- 低粘稠度
- 几nm厚涂层
- PFPE 及 Ormocers 材料的增粘剂
- 有成本效益
- 不需担心空气的湿度
- 涂布 HMNP-12 时, 不需预处理背板
- 可用在 Silicone(硅胶), Quartz(石英) 或Glass(玻璃) 背板