纳米压币材料增粘剂 (Adhesion Layer for Nanoimprint Materials)


HMNP-12 纳米压印材料的增粘剂

工作模具材料的增粘剂:
在过去几年已投放大量资源来研发纳米压印蚀刻的工作模具材料. 有不同种类工作模具材料, 如Ormocers 及 Perflourinated Polyether (PFPE) (聚四氟乙烯). 它们需要增粘剂来与Silicone(硅胶), Quartz(石英) 或Glass(玻璃) 背板粘合。

旋涂:
在玻璃或石英的背板上先滴上HMNP-12(增粘剂), 然后旋涂背板。轻烤背板后, 就可复制工作模具。在玻璃或石英的材料上, HMNP-12的低粘稠度及低水敏感度形成几nm厚度的粘合层, 它与其他的增粘剂对水敏感度及空气湿度影响相对较低。

功能:
  • 快及容易应用
  • 低粘稠度
  • 几nm厚涂层
  • PFPE 及 Ormocers 材料的增粘剂
  • 有成本效益
  • 不需担心空气的湿度
  • 涂布 HMNP-12 时, 不需预处理背板
  • 可用在 Silicone(硅胶), Quartz(石英) 或Glass(玻璃) 背板